研究院設有“精密測試技術及儀器國家重點實驗室MEMS分實驗室”、“清華大學微米納米技術研究中心MEMS分中心”和“智能微系統教育部重點實驗室MEMS分實驗室”等分中心和分實驗室，提供MEMS器件小試、中試、代工、檢測分析等專業服務，及微機電制造領域知識產權管理和工藝標準化等公共服務。

MEMS研究院投資建設了國內首條硅基4/6英寸兼容MEMS中試代工平臺，超凈規模國內一流；配備了國際一流設備的中試代工線，中試生產能力可達月產傳感器十萬只，產品的測試環境也居國內先進水平。

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